プラズマを用いた分析装置と方法、これに用いるインターフェース、及び、これに用いる試料導入部品

Analyzing device and method using plasma, interface used therefor, and sample introducing part used therefor

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent analyzing precision from being reduced by the elution of a sample inlet pipe by a plasma, and perform an analysis using a highly precise plasma. SOLUTION: A plasma 10 is generated, and a sample 4 is supplied to the plasma 10 by an aerosol guide pipe 41 and analyzed by a quadrupole mass filter 18. The tip part 50 of the aerosol guide pipe 41 is formed of sapphire.
(57)【要約】 【課題】本発明の目的は、プラズマにより試料の導入管 が溶出して分析精度が低下するのを抑制し、高精度のプ ラズマを用いた分析を可能とすることにある。 【解決手段】プラズマ10を発生させ、試料4をエアロ ゾール案内管41よりプラズマ10に供給して四重極マ スフィルター18により分析するものにおいて、エアロ ゾール案内管41の先端部50をサファイアで構成し た。

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